En vakuumbeleggingsmaskin er en enhet som legger tynne metallfilmer på overflaten av et underlag. Det grunnleggende arbeidsprinsippet er delt inn i tre trinn: rengjøring, fordampning og avsetning.
1. Rengjøring
Før fordampningsavsetning må fordampningskammeret rengjøres. Fordi det kan være oksider, fett, støv og andre stoffer festet til overflaten av fordampningskammeret, vil disse påvirke kvaliteten på filmen. Rengjøring bruker vanligvis kjemiske eller fysiske metoder.
2. fordampning
Det ønskede materialet varmes opp over smeltepunktet slik at det danner gassformige molekyler. De gassformige molekylene slippes deretter ut i vakuumkammeret inn i fordampningskammeret. Denne prosessen kalles fordampning. Temperaturen, trykket og fordampningshastigheten påvirker filmens sammensetning, struktur og egenskaper.
3. Deponering
De gassformige molekylene i materialet i fordampningskammeret kommer inn i reaksjonskammeret gjennom vakuumrøret, reagerer med det aktive materialet og avsetter deretter produktet på overflaten av substratet. Denne prosessen kalles sedimentering. Temperaturen, trykket og avsetningshastigheten påvirker også filmens kvalitet og ytelse.
2. Søknad
Vakuumbeleggmaskiner er mye brukt innen materialvitenskap, optikk, elektronikk og andre felt.
1. Materialvitenskap
Vakuumbeleggmaskiner kan tilberede tynne filmer av forskjellige metaller, legeringer, oksider, silikater og andre materialer, og er mye brukt i belegg, optiske filmer, optisk lagring, skjermer, transistorer og andre felt.
2. Optikk
Vakuumbeleggmaskinen kan forberede metall- og legeringsfilmer med høy reflektivitet og optiske filmer med spesielle funksjoner. Disse filmene kan brukes i solcellepaneler, høyytelses elektronmikroskoper, aerogeler, UV/IR-sensorer, optiske filtre og andre felt.
3. Elektronikk
Vakuumbeleggmaskiner kan forberede elektroniske materialer og mikroelektroniske enheter i nanoskala. Disse filmene kan brukes i nanotransistorer, magnetiske minner, sensorer og andre felt.
Kort sagt kan vakuumbeleggmaskinen ikke bare forberede forskjellige tynnfilmmaterialer, men også tilberede tynne filmer med spesielle funksjoner etter behov. I fremtiden vil vakuumbeleggsteknologi bli mer brukt og fremmet.
Innleggstid: Mar-12-2024